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常用羅茨真空泵的參數(shù)
2019-10-09
一、羅茨真空泵工作原理
羅茨真空泵當轉(zhuǎn)子和泵體形成吸氣腔時,兩個轉(zhuǎn)子相互之間始終保持密封,從而確保排氣口的氣體不返流到進氣口,以此實現(xiàn)抽氣的功能。
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